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Prüfungen auf dem Prüfstand - Schichtdickenmessung


Dieses Video der Reihe "Prüfungen auf dem Prüfstand" befasst sich mit der Schichtdickenmessung und zeigt, wie Schichtdicken mit dem Wirbelstrom- und dem magnetinduktiven Verfahren gemessen werden. Anhand von beschichteten Musterteilen in unterschiedlichen Geometrien veranschaulicht das Video den Einfluss der Substratkrümmung, der Substratdicke und der Substratrauigkeit. Es wird darauf hingewiesen, worauf Anwender/-innen bei der Prüfung achten sollten und wie sich Messfehler vermeiden lassen.
 


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